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真空镀膜机检漏操作

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2016-05-25 18:56:21

真空镀膜机的操作方法
真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延。用户对于真空镀膜机的操作方法都了解吗?下面小编就来具体介绍一下真空镀膜机的操作方法,希望可以帮助到大家。
真空镀膜机电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和
高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
DEF-6B操作
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
3. 到50以下时,再关维持泵。
真空镀膜机检漏操作
1、将氦质谱检漏仪 HLT 560连接到泵组前的检漏口上.
2、启动检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时启动镀膜设备的泵组.
3、在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5 mbar以下的时候,拿氦气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号.
4、所有可疑点都检测完成后,关闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等等).处理完成后,再按照前叙步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程完成.

真空镀膜机检漏操作
关键词:真空镀膜机
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