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真空镀膜机故障(一)

作者:驰诚机械 来源:温州驰诚机械设备有限公司 发布于:2017-9-12 14:39:38
真空镀膜机故障增加束流时高压没有指示:
在真空镀膜机正常工作时, 主开关电路中的开关管处于饱和导通状态, 管压降保持在 100V 左右, 栅极得到正偏压 50V, 高压指示6 kV (或10 kV)。从检测电路R21 上得到的电压控制信号不足以使D13 稳压管击穿导通,BG14、BG15、BG16 处于截止状态, 而BG11、BG12、BG13 处于导通状态, 由BG11 输出一个2. 5V 左右的高电位。
栅压切换电路上的BG10 得到 2. 5 V 的电压控制信号而处于导通状态, 使得BG9 的基极电位变为 0 电位而截止, 主开关管通过D6、D7 得到正向50V 偏置的电压。
同时BG7、BG8 也处于导通状态,D8 稳压管击穿导通, 提供主开关管栅极恒定的电流。由于BG10 处于导通状态, 使得帘栅控制电路的BG4 的基极处在 0 电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号UR2
的控制。当UR2< UD2 时, 输出的帘栅压的大小是随UR2 的变化而变化。
在真空镀膜机不正常情况下, 增加束流时, 由于束斑的位置不在中心, 电子束可能会打到坩埚的边缘, 或者束斑的位置在中心, 但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路, 造成电子束流大于预定值, 主开关管处于截止状态, 承受全部高压, 使得高压无输出。
由于打火而造成过大的束流, 在电流检测电路R21 取得的过流信号, 使得 D13 稳压管被击穿导通, BG14、BG15、BG16 处于导通状态, C13 通过BG14、R51放电, 使得BG11、BG12、BG13 很快截止,BG11 输出为0V。栅压切换电路上的BG10 得到0V 的输入信号而截止,BG9 立刻导通, 550 V 正端通过BG9 接到主开关管的阴极, 负端通过D5 管接到主开关管的栅极, 主开关管得到- 550V 偏压而进入深度截止, 此时高压就没有指示了。
 
真空镀膜机
 
关键词:真空镀膜机
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