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真空镀膜机常见故障及处理方法

作者:超兽武装  来源:www.wzcczk.com  更新时间:2020-6-15 10:04:23  点击次数:
检测不到掩膜夹具翻转信号:
  1、检查翻面信号源位置
  2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。

掩膜夹具翻转不稳定:
  1、检查翻板的初始位置是否符合时机
  2、检测翻面控制开关工作是否稳定,可用指针万用表跟踪监测。
  3、检查翻转机构动作是否灵活可靠
  4、检查翻面信号次数设置
  5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象
  6、检测旋转工作台在转动时的稳定性

在同一掩膜夹具频率散差大:
  1. 检查晶片本身是否散差大
  2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板
  3.检查一下挡板在开、关时是否完全遮挡住钼舟
  4.检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟
  5、检查钼舟使用是否符合要求,要采用圆形钼舟

锅与锅之间频率散差大:
  1、观察一下监控片是否存在跳频现象
  2、反复测量统一监控片观察振荡器的稳定性(不超过75Hz)
  3、检查冷却水是否通畅
  4、检查钼舟使用是否符合要求,要采用圆形钼舟
  5、监控片选用是否符合要求,建议采用我公司的监控片

镀膜频率不停止:
  1、检查频率参数设置是否正确
  2、钼舟电流表是否有指示
  3、钼舟中是否有银
  4、监控片是否跳频
  5、修正系数是否错误
  6、在出现非正常退后是否更换过监控片

测试不到频率:
  1、更换一下监控片
  2、检查一下测试弹片是否变形
  3、用一只5MHz的晶体直接插入振荡器输入端测量频率,若有频率证明是探头问题,若无频率,用计数器测量一下振荡器输出频率是否异常,无正常输出证明振荡器有问题,有正常输出但计算机无显示证明控制卡有问题。

控制阀均不动作:
  1. 检查5V电源是否有输出,是否接好
  2. 检查固态继电器板上电源公共端是否有电

控制阀个别不动作
  1、检查相应的固态继电器是否有输出

未达到真空度就工作:
  1、数字真空计出现不正常数字,且30秒内无变化,例如0.00-4(国产真空计常见)现象
  2、指针表在真空计打开30秒后,黑色指针仍不摆动

监控片使用原则
  1、监控片表面要清洗干净
  2、监控片要随用随镀,空气中暴露12小时以上禁止使用
  3、监控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用
  4、使用过程中要记录好使用批次,严禁出现新旧混用
  5、监控片反复使用寿命为3次。
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