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真空镀膜掉膜的原因及解决方法

作者:北极星  来源:www.wzcczk.com  更新时间:2020-8-31 10:15:23  点击次数:
  真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。

  真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为更具 发展前途的重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。

  它主要是在高真空度下进行的镀膜,使用行业也是非常多的,汽车,医疗,交通,机械,服务等等行业,也现在于人们生活非常紧密的镀膜设备。

  真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分,若没先进高效的镀膜机器,就没有现代化的镀膜工业。

  真空镀膜会遇到掉膜的情况,产生这样情况的原因在于哪里,如何去解决这些问题呢?

  1、表面清洁度
  产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

  2、清洗过程中的问题
  镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

  3、工艺的问题
  工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

  4、靶材的问题
  钛靶是否中毒,检查和更换。

  5、真空腔是否漏气
  进行次捡漏。

  6、产品表面氧化
  氧化的原因很多,可以自行判断处理。
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