真空镀膜机成膜不均匀的因素
真空镀膜机由于要保持工件必须能够自公转的特性，工件在不同真空室之间的传递技术是制造立体分散件多室连续镀膜机的主要难点。目前的传送机构，主要是在常规的、广泛应用于板带表面镀膜的、无工件自转机构基础上发展起来的链条隧道式传送机构。
链条隧道式连续传送机构，是在传统板带表面镀膜机中的传递机构基础上发展起来的，对于真空镀膜装备制造企业来说，生产没有任何困难，市场上已有的立体分散件连续镀膜机采用的均是此类机型，国内有数家企业为此还申请专利。为链条隧道式传送机构结构设计图，其传递过程为，公转盘A带动柔性金属材料钢带B公转，自转轴的轴套D焊接在柔性钢带上，以机械机构固定在公转盘上，同时用有内齿的固定圆盘F齿合自转轴C上的齿轮E，以保证其自转。柔性金属材料钢带B在G处能够自由断开，并做直线运动从内齿固定圆盘F的H开口处进入下一个真空镀膜室的工件架上。
链条隧道式传递机构的缺陷是，1、真空室之间的连接阀门需要较大尺寸，这样，不同真空室之间的气氛容易互串，进而降低镀膜质量、成品率等；2、需要较高的设计精度、加工水平，由于是柔性结构，容易出现匹配不精确，导致传送出现故障。真空镀膜机往复步进齿条推杆式传送机其传递过程为，固定在镀膜室顶上或底盘上（与公转盘同一侧）、并可以往复运动的齿轮G、齿条H－推杆机构，顺序实现自转工件杆Am从真空室M的公转盘Jm向真空室N的公转盘Jn的传递。齿轮、齿条所用的动力是通过轴密封在真空室外的电机来实现。为使自转工件杆脱离公转盘进入下一个公转盘，在公转盘与自转轴之间采用开放式连接，同时在固定于镀膜室内并维持自转的内齿轮盘相应位置开口，实现自转工件杆从镀膜室M传送到下一个镀膜室N。
与链条式传送机构相比，该机构为刚性传送，不存在齿合不精确问题同时，由于需要的过渡空间小，可以节约真空室之间阀门的开关时间、进一步减少不同真空室之间的气氛互串。因而极大的提高了镀膜工艺稳定可靠性、成品率，降低能耗和成本等。
真空镀膜机成膜不均
随着镀膜技术的发展，各类真空镀膜机也逐渐出现，不管是哪种真空镀膜机，薄膜的均匀性都会受到一些因素的影响。现在，我们就以磁溅射真空镀膜机来分析成膜不均匀的因素。
镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性。基片干净很重要。真空镀膜前要将基片表面认真清洁干净，达到工件去油、去污和脱水的目的。基板表面污染从零件在加工，运输等过程中附着的各种各样的灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等，在潮湿环境下，基片表面易氧化，形成氧化膜吸附气体。对于这些污物，都能用去油或化学方法清洗干净。干净的基片不要直接放在外面，需要用封闭容器存放，减少沾污。镀膜室内也是会积灰的，所以要清洗镀膜室内，烘烤除气，并将机器放置在干净的环境里。注意扩散泵返油。镀膜的原材料有很多，如树脂、硅酮、硅盐酸、聚合物等，辅料、配方的比列有所不同，薄膜也不同。
以上就是真空镀膜机成膜不均匀的因素。
关键词：真空镀膜技术，真空镀膜设备
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