真空镀膜机厂家驰诚真空镀膜设备真空电镀机操作指令
真空电镀机操作指令
一. 准备工作:
1. 保持真空室内清洁,干燥,必要时应作清洁处理.
2. 确认抽气系统,机组转向,清洁,油量符合说明书规定﹒
3. 接通全部冷却水.
4. 关闭全部阀门(如预热扩散泵﹐则前级阀不关闭).
5. 接通气源.
二. 蒸镀工作准备:
1. 在龙架上装好蒸发塑料件.
2. 将龙架由小车推入真空室,使电极紧密吻合,嵌入离合器定位牢固应能旋.
3. 关紧大门及放气阀.
三. 抽气-抽气系统机组的工作:
1. 提前1小时将扩散泵加热,此时用机械泵工作,下级阀打开.
2. 机械泵抽气:达到加热温度,先关下闭阀门(加热不停止)打开上阀,对真空容器粗抽.
3. 罗茨泵抽气:当真空度到达730mmHG(即负压730mmHG)后方可启动罗茨泵,注意不得任意提前启动罗茨泵,以免过载造成损坏,罗茨泵工作后应观察热偶计真空规来了解真空度﹒
4. 扩散泵抽气﹕当真空所指真空度到达2°t时,先打开下阀,当真空所指真空度到达3°t时,打开主阀关上阀,使扩散泵对真空室抽气.
5. 当指针到达7×10-2pa或以上数据可进行蒸镀工作,若继续抽气时,真空度将不断升高.
蒸镀
当真空室己达到所需真空度后,可进行蒸镀操作.
蒸发电流之最大值只允许在不超过30秒的时间内使用.
五﹒停机
在完成本工作日最后一次蒸镀后,应按下述步骤停机.
1. 关紧大门,使容器在高真空下关闭SG-3真空计.
2. 关气动高真空阀,关预抽上阀,关罗茨泵,关机散泵加热﹒
3. 在扩散泵停止加热1小时后关下阀及关机械泵.
4. 关冷却水及气压.
5. 关总电源.
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