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磁控溅射法定义是什么？
作者：温州驰诚真空机械有限公司 来源：http://www.wzcczk.com 更新时间：2016-10-15 14:17:20 点击次数：
磁控溅射
法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。
关键词：
真空镀膜机厂家 真空镀膜机
注：以上资讯由-温州驰诚真空机械有限公司整理发布转载请注明来源：http://www.wzcczk.com
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