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真空镀膜机冷却系统的原理及监控方法

作者:驰诚机械设备  来源:温州驰诚机械设备有限公司  更新时间:2017-11-13 10:30:25  点击次数:
       真空镀膜设备的金属罩体通过安装孔然后以焊接的方式固定在真空镀膜机的外壁上,待冷却的外壁通过加强圆槽形成渠道,这样确保了冷却的流通,也避免的死角现象的产生,有效的对镀膜机进行了快速的降温,降低了油泵的温度,加强了冷却的强度,结构简单,安全可靠等有点,在真空镀膜机冷却外壳上包括金属罩体的原因是数个排列有序,并且内凹的加强圆槽,所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔,所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上,在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道,根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳,其特征在于,在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5_,根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳,其特征在于,所述加强圆槽的最大直径为24-136mm。

       真空镀膜机主要是指在真空度很高的情况下镀膜,已经被广泛应用,制度薄膜尤其广泛,其制作的薄膜也被应用到各种光电系统和光学仪器中,数码相机。望远镜,还有汽车工业等行业都用到了!

       现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法最直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精确度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。  

       光学监控是高精密镀膜的的首选监控方式,这是因为它可以更精确地控制膜层厚度(如果运用得当)。精确度的改进源于很多因素,但最根本的原因是对光学厚度的监控。OPTIMALSWA-I-05单波长光学监控系统,是采用间接测控,结合汪博士开发的先进光学监控软件,有效提高光学反应对膜厚度变化灵敏度的理论和方法来减少终极误差,提供了反馈或传输的选择模式和大范围的监测波长。特别适合于各种膜厚的镀膜监控包括非规整膜监控。

真空镀膜机

关键词:真空镀膜机
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