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真空镀膜机是干什么的

作者:  来源:www.wzcczk.com  更新时间:2024-11-6  点击次数:
  “真空镀膜机”我们在日常生活、工作中都经常用到,但不知道大家对“真空镀膜机”是否知道呢?本文收集整理了一些资料,希望本文能对各位读者有比较大的参考价值。

使用步骤电控柜操作
  1. 开水泵、气源。
  2. 开总电源。
  3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
  4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
  5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

DEF-6B操作
  1. 总电源。
  2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
  3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。

  关机顺序
  1. 关高真空表头、关分子泵。
  2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
  3. 到50以下时,再关维持泵。

  适用范围
  1.建筑五金:卫浴五金(如水龙头).门锁.门拉手.卫浴、门锁、五金合叶、家具等。
  2.制表业:可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品。
  3.其它小五金:皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等.
  4.大型工件:汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等。
  5、不锈钢管和板(各种类型表面)
  6、家具、灯具、宾馆用具。
  7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。
  8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰(金银)纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。

  薄膜均匀性概念
  1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
  2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
  3.晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。

  主要分类
  主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等 。

  对于蒸发镀膜:
  一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。

  厚度均匀性主要取决于:
  1。基片材料与靶材的晶格匹配程度
  2、基片表面温度
  3. 蒸发功率,速率
  4. 真空度
  5. 镀膜时间,厚度大小。

  组分均匀性:
  蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

  晶向均匀性:
  1。晶格匹配度
  2。 基片温度
  3。蒸发速率
  溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
  溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。

  操作程序
  真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书
  和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
  ① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
  ② 打开总电源开关,设备送电。
  ③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
  ④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
  ⑤ 落下钟罩。
  ⑥ 启动抽真空机械泵。
  ⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。
  a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
  b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
  ⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
  ⑨ 真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。
  ⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
  等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
  a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
  b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
  c. 铝丝全部熔化蒸发,挡板回原位。
  d. 右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。
  21. 如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复?操作动作。
  22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
  23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间,当没有气.声时,升钟罩。
  24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。
  25. 落钟罩。开机械泵。
  a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
  b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,低压阀推入。
  c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
  d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
  e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时,开规管灯丝。
  f. 由?开始重复操作至?。
  26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后,按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气,充气完毕后升钟罩。取出工件,做好钟罩内清理工作。
  a. 落下钟罩。
  b. 开机械泵,抽3~5min,停机械泵。
  c. 切断供电总开关。
  d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。
  27. 正常生产中,如遇到突然停电时,要立即切断高真空测量,关闭规管灯丝,高压阀、低压阀拉出。来电后,先让机械泵启动工作3~5min后,再转入正常生产。
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