欢迎光临驰诚真空机械有限公司官方网站!

热门关键词:真空镀膜机 真空镀膜设备 真空镀膜机厂家

关于驰诚 / ABOUT US
公司新闻
当前位置:首页 > 新闻中心 > 公司新闻

真空镀膜机的真空室形变的检测

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2015-12-8 18:23:08
为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响,我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上,其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑,以吸收和隔离形变,并设置形变补偿调节机构,在系统抽真空前,参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量,以使其在真空状态下达到平衡。而这样的真空设计也使得现在的真空镀膜机就能够让镀膜在真空环境下正常进行,防止外界因素的影响。
而为了验证有限元计算的结果,对真空室的形变和补偿进行了测试。首先将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧,当真空室由大气抽到真空时,记录各千分表的变化量,经归一化处理后为用激光自准直仪调整形变补偿。由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜,在大气环境下调整形变补偿调节机构,使反射光束进入自准直仪接收视场,记录两维角度偏差。这些数据之后需要对其进行分析处理,得到测试结果。
真空镀膜机的真空室形变的检测
 
真空镀膜机优质厂家就找温州驰诚机械设备有限公司,本企业主导真空镀膜机,真空镀膜机设备。其中真空镀膜设备已经达到国内领先水平。Tel:0577-56615101
温州驰诚真空机械有限公司
手机:13857753897                   
电话:0577-56615101
传真:0577-56615100 
邮箱: 001@ccvacuum.com
微信: 搜索CCZK-CHINA 
网址: http://www.wzcczk.com 
地址:浙江温州市龙湾区滨海工业园区滨海一路9号


版权所有:温州驰诚真空机械有限公司 Copyright 2015 All Rights Reserved
24小时售后服务电话:400-882-5225  电 话:0577-56615101   浙ICP备09010036号-3
手机:13857753897  传真:0577-56615100  Email:001@ccvacuum.com  地 址: 浙江温州市龙湾区滨海工业园区滨海一路9号