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一种旋转式真空镀膜机的制作方法

作者: 来源: 发布于:2019-11-13 13:59:14
本实用新型涉及镀膜机相关技术领域,特别涉及一种旋转式真空镀膜机。

背景技术:

真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备,其中,镀膜的技术具有很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的对象被称为工件(或基片),需要镀在工件上的材料被称为靶材,如硅靶、铌靶、铝靶、钛靶等。工件与靶材同在真空腔中。在真空条件下,通入一定气压的氩气,氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子,氩离子加速轰击靶材,从而将靶材材料溅射到工件表面,形成薄膜。但是一般的镀膜机不能进行环形轨道镀膜,因此镀膜时间很长,不能提高镀膜的效率;而且一般的镀膜机没有设置收集装置,对材料造成了极大地浪费。因此,发明一种旋转式真空镀膜机来解决上述问题很有必要。

技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种旋转式真空镀膜机,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种旋转式真空镀膜机,包括镀膜机主体,所述镀膜机主体的内腔底端中部设置有导向凸起,所述镀膜机主体的内腔底部边缘设置有收集槽,所述镀膜机主体的侧壁上设置有电控滑轨,所述电控滑轨通过连接管与活动喷头连接,所述镀膜机主体的端侧壁上设置有环形空槽,所述环形空槽位于电控滑轨的上方,所述环形空槽内设置有活动板,所述活动板通过L形连接杆与电控滑轨连接,所述活动板上固定安装有容纳箱,所述容纳箱的底部设置有循环管,所述循环管远离容纳箱的一端插入收集槽内,所述镀膜机主体的顶部设置有盖板,所述盖板的底端中部设置有连接块,所述连接块的底部设置有固定板,所述固定板的内侧设置有贴合板,所述贴合板靠近固定板的一端设有连通管,所述连通管远离贴合板的一端贯穿固定板并与贴合块固定连接,所述贴合块的外侧贴合设置有喷涂材料,所述连接块的中部设置有抽气装置,所述抽气装置的底部通过通气管与连通管连接,所述抽气装置的顶部设置有电磁阀,所述电磁阀的顶部设置有出气口,所述出气口位于盖板内,所述盖板的一侧设置有真空泵连接管。

优选的,所述活动喷头与连接管通过销轴连接,且销轴上设置有微型电机。

优选的,所述活动板的底部设置有滚珠,滚珠的底部位于空槽底部的环形滑道内。

优选的,所述固定板设置有多个,多个固定板呈环形阵列分布。

优选的,所述喷涂材料为环形结构,所述固定板、连通管和贴合块均位于喷涂材料的内侧。

优选的,所述贴合块的外侧设置有弹性连接层,弹性连接层与喷涂材料的内侧贴合连接,且弹性连接层上设置有气孔。

本实用新型的技术效果和优点:本实用新型通过在镀膜机主体内设置有电控滑轨和活动板,使得活动喷头能够在环形轨道运动的同时,对喷涂材料进行镀膜工作,提高了本装置的工作效率;在镀膜机主体的底部设置有收集槽,通过循环管可将滴落的喷料收集再次利用,提高了材料的利用率;盖板上的抽气装置通过气管、连通管和贴合块,能够将喷涂材料吸附固定,使得喷涂材料便于固定和更换,进一步提高了本装置的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型结构剖面示意图;

图2为本实用新型固定板结构俯视示意图;

图3为本实用新型贴合块结构剖面示意图。

图中:镀膜机主体1、导向凸起2、收集槽3、电控滑轨4、连接管5、活动喷头6、活动板7、L形连接杆8、容纳箱9、循环管10、盖板11、连接块12、固定板13、贴合板14、连通管15、贴合块16、喷涂材料17、抽气装置18、电磁阀19、真空泵连接管20。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种旋转式真空镀膜机,包括镀膜机主体1,所述镀膜机主体1的内腔底端中部设置有导向凸起2,所述镀膜机主体1的内腔底部边缘设置有收集槽3,所述镀膜机主体1的侧壁上设置有电控滑轨4,所述电控滑轨4通过连接管5与活动喷头6连接,所述镀膜机主体1的端侧壁上设置有环形空槽,所述环形空槽位于电控滑轨4的上方,所述环形空槽内设置有活动板7,所述活动板7通过L形连接杆8与电控滑轨4连接,所述活动板7上固定安装有容纳箱9,所述容纳箱9的底部设置有循环管10,所述循环管10远离容纳箱9的一端插入收集槽3内,所述镀膜机主体1的顶部设置有盖板11,所述盖板11的底端中部设置有连接块12,所述连接块12的底部设置有固定板13,所述固定板13的内侧设置有贴合板14,所述贴合板14靠近固定板13的一端设有连通管15,所述连通管15远离贴合板14的一端贯穿固定板13并与贴合块16固定连接,所述贴合块16的外侧贴合设置有喷涂材料17,所述连接块12的中部设置有抽气装置18,所述抽气装置18的底部通过通气管与连通管15连接,所述抽气装置18的顶部设置有电磁阀19,所述电磁阀19的顶部设置有出气口,所述出气口位于盖板11内,所述盖板11的一侧设置有真空泵连接管20。

所述活动喷头6与连接管5通过销轴连接,且销轴上设置有微型电机;所述活动板7的底部设置有滚珠,滚珠的底部位于空槽底部的环形滑道内;所述固定板13设置有多个,多个固定板13呈环形阵列分布;所述喷涂材料17为环形结构,所述固定板13、连通管15和贴合块16均位于喷涂材料17的内侧;所述贴合块16的外侧设置有弹性连接层,弹性连接层与喷涂材料17的内侧贴合连接,且弹性连接层上设置有气孔。

本实用工作原理:本装置在工作时,先将喷涂材料17设置在贴合块16的外侧,使得贴合块16上的弹性连接层与喷涂材料17的内侧贴合连接,再启动抽气装置18,此时抽气装置18通过气管、连通管15和贴合块16上的气孔将喷涂材料17吸附固定住,然后将盖板11盖在镀膜机主体1上,通过真空泵连接管20将镀膜机主体1的内腔变成真空环境,然后启动电控滑轨4,使得电控滑轨4带动连接管5、活动喷头6、活动板7和容纳箱9移动,容纳箱9内的镀膜液体通过通液管、连接管5从活动喷头6喷出,对喷涂材料17进行镀膜工作,活动喷头6上的微型电机能够调整活动喷头6的角度,使得活动喷头6能够均匀镀膜,活动喷头6上滴落的镀膜液会通过导向凸起2进入到收集槽3内,再通过循环管10输送至容纳箱9内,进行镀膜,提高了镀膜液的利用效率。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。


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