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真空镀膜机真空泵的保养维护装置的制作方法

作者: 来源: 发布于:2019-11-7 14:40:16
本发明涉及一种真空镀膜机。
 
背景技术:
 
真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,而真空泵是真空镀膜机中最重要的零部件,但真空泵常常会出现一些故障导致镀膜设备没法正常工作,存在一定的不足之处。
 
技术实现要素:
 
本发明的目的就在于提供一种真空镀膜机真空泵的保养维护装置。
 
本发明是这样实现的。真空镀膜机真空泵的保养维护装置,包括一个机体,在机体上设置温度感应模块、间隙感应模块、传输模块、管理模块,温度感应模块感应真空镀膜机电机的温度以及被抽气体的温度情况,间隙感应模块感应旋片与定子之间的间隙大小,感应到的信息通过传输模块传输至管理模块进行处理。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,在机体上设置运作感应模块,感应真空镀膜机真空泵有无冒烟或漏油现象。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,设置提示模块,当真空镀膜机电机温度过高或运作异常时发出提示信息。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,提示信息的方式为声音或LED灯光显示。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,在机体上设置油量感应模块,感应真空镀膜机泵腔内的油量情况。
 
上述真空镀膜机真空泵的保养维护装置,能够防止真空镀膜机真空泵出现冒烟和漏油现象,保证真空泵的真空度,更加有效的保障了真空镀膜机的正常运行。
 
附图说明
 
附图为一种真空镀膜机真空泵的保养维护装置的结构示意图。
 
图中标号分别为:1-机体、2-温度感应模块、3-间隙感应模块、4-传输模块、5-管理模块、6-运作感应模块、7-提示模块、8-油量感应模块。
 
具体实施方式
 
实施例:如附图所示。真空镀膜机真空泵的保养维护装置,包括一个机体(1),在机体(1)上设置温度感应模块(2)、间隙感应模块(3)、传输模块(4)、管理模块(5),温度感应模块(2)感应真空镀膜机电机的温度以及被抽气体的温度情况,间隙感应模块(3)感应旋片与定子之间的间隙大小,感应到的信息通过传输模块(4)传输至管理模块(5)进行处理。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,在机体(1)上设置运作感应模块(6),感应真空镀膜机真空泵有无冒烟或漏油现象。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,设置提示模块(7),当真空镀膜机电机温度过高或运作异常时发出提示信息。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,提示信息的方式为声音或LED灯光显示。
 
真空镀膜机真空泵的保养维护装置,在机体(1)上设置油量感应模块(8),感应真空镀膜机泵腔内的油量情况。
 
上述真空镀膜机真空泵的保养维护装置,能够防止真空镀膜机真空泵出现冒烟和漏油现象,保证真空泵的真空度,更加有效的保障了真空镀膜机的正常运行。


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