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真空镀膜机厂家真空镀膜设备真空模板

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2015-11-26 22:41:35

真空镀膜机厂家真空镀膜设备真空模板

  真空镀膜机厂家真空镀膜设备真空模板利用电子束加热使真空镀膜膜材汽化蒸发后,凝结在基片表面真空镀膜呈膜使真空镀膜蒸发镀膜技术中一种重要的加热方法。
  这种真空镀膜装置很多。随着真空镀膜薄膜技术的应用,不但对真空镀膜膜层的种类要求繁多,而且对真空镀膜膜层的质量要求更加严格。真空镀膜电阻蒸发镀已不能满足真空镀膜蒸镀某些金属和非金属的需要。真空镀膜电子束热源能获得远比真空镀膜电阻热源更大的能量密度,数值可达(104—109)W/cm2,因此可以将真空镀膜膜材加热到3000—60000C。
  这就为真空镀膜蒸发难熔金属和非金属材料如钨,钼,锗,SiO2,Ai2O3等提供了较好的热源。而且由于真空镀膜被蒸镀的材料是放在水冷坩埚内,因此可避免容器材料的蒸发及容器材料与真空镀膜膜材之间的反应,这对提高真空镀膜的膜的纯度是极为重要的。
  另外,热量可直接加到真空镀膜的膜材表面上,因此热效率高,热传导和热辐射损失少。
  一、电子束蒸发镀膜机
  真空镀膜机具有石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式,通过PLC和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制,包括真空系统,烘烤系统,蒸发过程和膜层厚度的监控功能,可实现无人值守的自动控制,从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性.  
  应用范围:主要用于光学膜及电学膜领域,适用于塑料,陶瓷玻璃晶体等,基体的镀膜,如:红外膜,宽带增透膜,透明导电膜,干涉截止滤光片偏振膜,金属化合物膜,VCD分光膜,各类激光膜。 
  基本参数:  
  极限真空:3×10-4Pa  
  恢复真空时间:大气至4×10-3Pa≤15min  
  采用KT-630型扩散泵(22000L/s)两台(带移相温度控制),HGL-150型滑阀泵一台+ZJP-600罗茨泵一台,维持泵2X-30型机械泵(30L/s)一台;配备防湍流装置 
  真空程序有自动和手动两种模式。日本欧姆龙型PLC控制所有泵阀动作;高阀、低阀、预阀,到位信号送入PLC控制信号;PLC程序带故障报警功能,如气压、水流、机械泵等保护及报警;
  工件转动:采用磁流体密封转动装置  
  工件烘烤:桶状上烘烤,三点控温,加热器采用管状加热器,配温控仪  
  E型电子枪两支,枪功率10KW/支;束偏转角270°;阳极电压为-4KV~-10KV连续可调,稳压精度:±0.5%;束流:0-1000mA可调;具有X、Y方向扫描,扫描波形有三角波、正弦波、矩形波可选择,并能存储每一位坩埚的扫描参数。电子枪主体有屏蔽罩,电子枪输出功率稳定。  
  配备美国Inficon的MDC360C型或SQC310石英晶体膜厚仪。 
 12英寸的触摸屏,可编程控制器(PLC)中央控制方式及其相关电气控制单元对设 备真空系统、蒸发源系统、烘烤系统、工件转动系统、膜厚监控系统等进行监测和控制,并能把石英晶控的功能在触摸屏上进行操作
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