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如何掌控真空镀膜的均匀性

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2015-12-10 16:54:57

如何掌控真空镀膜的均匀性

我们先来认识下怎么调试镀膜机,因为掌握调试镀膜机是使用镀膜机的关键怎么调试镀膜机
1、测试设备的抽真空速度,在测试过程中检查漏气情况与各真空泵的性能;
2、测试设备的密封性能,就是抽到极限后保压1小时看压降是否达标,同时排除细小的漏孔;
3、产品试作,检验其他的性能,比如传动、加热、绝缘等等;
4、如果有工艺保证的话就继续打样并作测试。
5、所有的测试应作记录,并有记录人签字以及有使用部门或工程部门的人确认签字
怎么掌控真空镀膜的均匀性?
由于车灯镀膜机原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义,下面分别说一下:
均匀性主要体现在3方面:
1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于多弧离子镀膜机的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,是现在真空镀膜中主要的技术含量与技术瓶颈所在。
2.化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果溅控溅射镀膜机过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。
3.晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。  
如何掌控真空镀膜的均匀性
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