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真空镀膜机改进后的镀膜结构

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2015-12-30 17:38:31

真空镀膜机改进后的镀膜结构
 根据现有比较片结构在使用过程中暴露出的问题,对原有通用镀膜机比较片结构进行多次的改进,形成以下的结构,如图2(a)、(b)所示。通过设计可重叠放置比较片存储筒,使比较片机构直径所占面积减小,但放置的比较片数量增加到20 片左右, 整个机构直径缩小为Φ89mm。结果可增加较小工件镀膜盘上装载工件的数量,提高生产效率,还可以提高薄膜监控的精度,并降低对硬件系统的要求,容易实现对系统的自动控制。
 具体动作实施,改进后多片比较片机构的转动,通过连接板23 和连接块21 固定在真空室顶板上,比较片机构的旋转运动,由旋转密封轴把运动输入真空室内的大齿轮,带动小齿轮所在传动轴24 的转动,最终实现整个比较片机构的转动。比较片切换比较片时,通过拨盘29 转动一个工位,比较片存储筒219 内落下一个比较片,到达预设的位置,同时,切换的比较片随着工位转动落在比较片接受筒212 内,每切换一次,拨动一个工位。其中,传动轴24、大齿轮、小齿轮和轴承座组成的传动机构来完成拨盘转动。
 其特点是:(1)减小比较片机构直径的面积,提高装载镀制工件的数量;(2) 增加比较片的数量,提高生产效率,提高薄膜监控的精度,降低对硬件系统的要求,系统容易实现自动控制。缺点:该比较片结构直径小而长(Φ89×370),影响其使用的强度和刚度;由于该结构暴露在高温溅射磨料的真空室内,影响其转动平稳性、灵活性,且转动位置重复的一致性较差,维护清洗频繁费工。
2、镀膜机比较片优化设计机构
 在真空镀膜机发展过程中,真空镀膜机比较片在光学镀膜机中担负着装载比较片的功能。比较片装载数量少,限制光学薄膜的镀制层数;比较片有效面积小,光路调整不方便,光信号的信噪比差,严重影响光学薄膜的质量。根据现在镀膜产品的要求,现有的真空镀膜机比较片机构,已不能满足现代光学30 层以上精密光学薄膜的镀膜要求。为解决现有技术上存在的缺陷,综合以上两种比较片结构优缺点和新产品镀膜的要求,创新、优化设计新一代的比较片机构,该装置要满足:结构简单;比较片装载方便;重复定位性好;可靠性高;制造成本低等特点。
 真空镀膜机多片式比较片装置,有比较片装载换位机构、转动密封馈入机构和换位驱动机构,如图3 所示。
 换位驱动机构固定在镀膜机箱体顶板4 上,由电机9、主动齿轮8、从动齿轮7、和定位盘6 组成,其中从动齿轮7 和定位盘6 固定在轴1 上,定位盘6 上有3 个均分的狭缝,槽型光藕17 在狭缝处接受光信号,控制电机的旋转和停止。
 转动密封馈入机构由威尔逊密封机构5 和轴承座2 组成,轴承座2 外侧套装有固定筒3,固定在镀膜机箱体顶板4 上。装载换位机构由拨动盘15、支承盘16、上盘14 和比较片存储筒13 组成。拨动盘15 连接的拨动轴11,通过联轴器10 和密封馈入机构的轴1连接。

真空镀膜机改进后的镀膜结构
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