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真空镀膜设备 真空镀膜机的操作方法

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2016-2-24 14:48:38

真空镀膜设备 真空镀膜机的操作方法
滚筒式光学镀膜机
产品名称:滚筒式光学镀膜机
详细介绍:应用领域(行业)适合配置的镀膜机:手机视窗触摸屏
适合生产的产品作用:防污膜
特点和优势:专门为防污膜设计,生产效率高
规格系列:1750
精密镀膜机
产品名称:精密镀膜机
详细介绍:应用领域(行业)适合配置的镀膜机:精密光学
适合生产的产品作用:1、红外截止滤光片2、各类截止滤光片3、带通滤光片
特点和优势:产品光谱曲线稳定性好
规格系列:600、800、1100、1300、150
真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延。用户对于真空镀膜机的操作方法都了解吗?下面小编就来具体介绍一下真空镀膜机的操作方法,希望可以帮助到大家。
电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和
高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
DEF-6B操作
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
3. 到50以下时,再关维持泵。

真空镀膜设备 真空镀膜机的操作方法
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