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真空高温轴承在卧式蒸发真空镀膜机方面的应用

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2016-03-01 13:43:10

真空高温轴承在卧式蒸发真空镀膜机方面的应用
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
我们详细介绍真空轴承在蒸发式真空镀膜机上的应用,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
轴承安装部位如图片所示管轴的两端,内部数十个类似的安装单元。由于机体内温度较高,普通轴承难以承受数百摄氏度高温真空工作环境,油脂润滑、石墨润滑的轴承产品在高温真空环境内运转过程中会带来油脂和石墨粉尘的污染,同时轴承短时间报废,导致产品的生产不合格。
我司所设计此款高温轴承,结合实际工作环境,采用高温自润滑的工作方式;通过长期验证达到了寿命长,免维护,洁净度高,不会带来污染,由此保证该机的正常运转。产品安装更换简单,大大的提高了机器的运转时间和效率,减少了机器维护保养得次数和保养成本。

真空高温轴承在卧式蒸发真空镀膜机方面的应用
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