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真空镀膜机多片式比较片装置的设计特点

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2016-3-8 10:17:35

真空镀膜机多片式比较片装置的设计特点

1)固定筒3 圆筒形状、大直径、厚壁结构的设计和周向对称的固定方式,可保证其有足够的强度和刚度,同时,还可阻止高温溅射磨料对其内部零部件污染,保证拨动盘15 转动的灵活性。
2)圆形轴承座2 的设计,保证轴承座安装的密封性和垂直度;增大轴1 的直径尺寸,加大轴承座2 中两轴承的安装间距,提高其自身的强度和刚度,保证转动过程中轴1 的刚度和拨动盘15的旋转灵活性、位置重复的一致性。
3)装载换位机构,通过扩大支承盘16 的直径,使该机构在平面方向的有效面积增大,可安装直径大(Φ26.5mm)的比较片,有利于光路调整,提高光学薄膜质量;比较片12 由单片玻璃作为一个比较片单元,比较片采用空间立体叠加安装方式,多片玻璃叠加安装在一个比较片存储筒13 内,实现一次可放置50~100 片比较片,解决镀膜机镀制多层精密光学薄膜,比较片数量少影响镀膜层数和精度的问题。
4)定位盘6 与槽型光藕17 的配合,通过槽型光藕来感知定位盘上三个均分的120°狭缝,控制电机转动停止。轴1 旋转定位重复的一致性得到保证,带动拨动盘15 完成准确的拨片动作。
5) 转动密封馈入机构引入威尔逊密封机构5,既保证电机9 通过齿轮啮合带动轴1 的灵活转动,又保证真空室对外部的密封作用。优化设计的真空镀膜机多片式比较片装置,
其特点:
1)结构简单,强度高,可靠性好;
2)比较片装载数量大,生产效率提高,可镀制超多层精密光学薄膜;
3)比较片直径增大,提高薄膜监控的精度,降低对硬件系统的要求,系统容易实现自动控制;
4)维护保养费用低。
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