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CCZK-SF磁控溅射镀膜设备溅射镀技术应用

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2016-9-14 17:36:21

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备溅射镀技术应用

  蒸发和磁控溅射两用立式装饰镀膜机,主要适用于塑料、陶瓷、玻璃金属材料表面镀制金属化装饰膜。
  由于镀膜室为立式容器,所以它具有卧式镀膜机的一切优点, 又利于自重较大的、易碎的镀件装卡,更可方便地实现自动生产线,是替代传统湿法水电镀的更为理想的新一代真空镀膜设备。
  CCZK-SF磁控溅射镀膜设备
  腔体结构:  立式前开门,卧式前开门。
  材质用料:腔体材质为SUS304不锈钢或碳钢
  真空系统:  扩散泵(可选分子泵)+罗茨泵+机械泵+维持泵(另有深冷泵系统可供选择)
  溅射靶材:  中心圆柱靶,平面靶,孪生靶等
  磁控电源:  可配备直流或中频磁控溅射电源
  转动系统:  变频调速,公自转结合,可根据客户产品和要求设计
  膜层结构:  单层膜、多层膜
  气体控制:  气体流量控制仪集成触控操作控制
  人机界面: PLC智能控制+全彩HMI触摸屏
  操作方式: 逻辑全自动方式、半自动方式、手动方式
  智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现全自动控制
  报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。
  其他技术参数:
  极限真空: 5.0×10-4Pa
  抽气速率: 5.0*10-2≤5min
  水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;
  备注:
  一般规格:
  Φ1000mm*H1200mm,Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm,
  Φ1800mm*H2000mm, Φ2000mm*H2200mm
  真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
  本机镀部分产品可不做底油。本机主 要特点配用改进型高真空排气系统,抽速快、效率高、节电、降噪和延长泵使用寿命;实现蒸发、磁控溅射、自动控制,操作简单,工作可靠;蒸发镀应用新型电极 引入装置,接触电阻小且可靠;磁控溅射应用镀膜材料广泛,各种非导磁的金属、合金均可作镀料;结构紧凑、占地面积小;磁控、蒸发共用两台立式工件车,操作 方便、高效。 
  (或双门蒸发、磁控两用机) 公司业务范围真空镀膜成套设备与技术,真空工程用各种泵、阀、真空计、油、脂、密封件,真空镀膜材料、涂料、金属及合金制品。真空设备故障诊断与排除、老 产品改造。新型塑料、金属、玻璃等制品表面处理工艺及技术研究,咨询服务。
  新技术、新设备、新工艺公司新开发的磁控、蒸发多用镀膜机,配用改进型高真空抽 气系统及全自动控制系统,抽速快、效率高、操作简单、工作可靠;具有可镀膜系广、膜层均匀、附着力好、基板温度底等特点;是镀制金属、合金及化合物膜的理 想设备;适合镀制透明膜、半透明膜、超硬膜、屏蔽膜及一些特殊的功能性膜。已广泛应用在光学、电子、通讯、航空等领域。
CCZK-SF磁控溅射镀膜设备
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