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真空镀膜设备故障排除及检漏方法

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.wzcczk.com 发布于:2017-1-19 11:34:03

真空镀膜设备故障排除及检漏方法

真空镀膜设备故障排除及检漏方法在真空镀膜设备正常工作时, 主开关电路中的开关管处于饱和导通状态, 管压降保持在100V 左右, 栅极得到正偏压50V, 高压指示6kV (或10kV)。从检测电路R21上得到的电压控制信号不足以使D13稳压管击穿导通,BG14、BG15、BG16处于截止状态,而BG11、BG12、BG13处于导通状态,由BG11输出一个2.5V左右的高电位。栅压切换电路上的BG10 得到2.5V的电压控制信号而处于导通状态,使得BG9的基极电位变为0电位而截止,主开关管通过D6、D7得到正向50V偏置的电压。同时BG7、BG8也处于导通状态,D8稳压管击穿导通,提供主开关管栅极恒定的电流。由于BG10处于导通状态,使得帘栅控制电路的BG4的基极处在0电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号UR2的控制。当UR2<UD2时, 输出的帘栅压的大小是随UR2的变化而变化。
在真空镀膜设备不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压,使得高压无输出。由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路R21取得的过流信号,使得D13稳压管被击穿导通,BG14、BG15、BG16处于导通状态,C13通过BG14、R51放电,使得BG11、BG12、BG13 很快截止,BG11 输出为0V。栅压切换电路上的BG10得到0V的输入信号而截止,BG9立刻导通,550V正端通过BG9接到主开关管的阴极,负端通过D5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550V偏压而进入深度截止,此时高压就没有指示了。
真空镀膜设备检漏方法真空镀膜机厂家介绍检查漏气情况是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏,真空度的高低是直接影响到镀膜效果的,所以检漏是必不可少的。
一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生,当抽气系统抽气后使真空室内压强下降,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,造成真空度下降。
真空镀膜设备厂家介绍在检漏的过程中,需要注意一些问题,才能把检漏工作做好。
  第一,要确认漏气到底的虚漏还是实漏,因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。
  第二,测试好真空室的气体密封性能,确保气密性能符合要求。
  第三,检查漏孔的大小,形状、位置,漏气的速度,制备出可解决方案并实施。
  第四,确定检测仪器的最小可检漏率和检漏灵敏性,以最大范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。
  第五,把握检漏仪器的反应时间和消除时间,把时间掌握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。
  第六,还要避免漏孔堵塞,有时由于操作失误,检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。
  为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多种多样,我们要一一的解决这些原因,稳定镀膜的效果。
真空镀膜机
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