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PVD真空镀膜设备蒸发系统工作方式

作者:驰诚机械 来源:温州驰诚机械设备有限公司 发布于:2017-9-2 9:42:23
PVD真空镀膜设备蒸发系统主要指成膜装置部分,PVD镀膜机的成膜装置很多,PVD镀膜有电阻加热、射频溅射、离子镀等多种方式。
下面介绍PVD镀膜电阻加热和电子枪蒸发的方式:
PVD镀膜电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用最多,PVD镀膜最广泛的蒸发方式,PVD镀膜也是应用时间最长的蒸发方式。
 
PVD镀膜的工作方式是:
PVD镀膜将钨片做成船状,然后安装在两个电极中间,再热传导给PVD镀膜材料,当钨舟的热量高于PVD镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了,PVD镀膜由于操作方便,结构简单,成本低廉。PVD镀膜电子枪蒸发是到目前为止应用最多的一种蒸发方式,PVD镀膜可以蒸发任何一种PVD镀膜料。
将镀膜材料放在坩埚里面,PVD镀膜将蒸发源制作成灯丝形状,PVD镀膜由于灯丝的材料是钨,形成了一股电子束,PVD镀膜由于电子束温度非常高,PVD镀膜可以熔化任何镀膜药材凝结下来。
 
驰诚真空十多年来专业从事各种真空镀膜应用设备制造,多年来致力于研发和生产真空镀膜机,以最新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备,为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。
真空镀膜设备
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