一台完整的真空镀膜机由多个核心部件组成，各部分协同工作才能完成镀膜过程。其主要结构包括真空腔室、真空系统、镀膜源、工件架、控制系统等。
真空腔室是镀膜的核心场所，通常由不锈钢制成，具备良好的密封性和耐压性；真空系统由真空泵组构成，负责将腔室内的气压降至工艺要求的真空度，是镀膜的前提条件；镀膜源根据镀膜类型不同分为蒸发源、溅射靶等，是提供镀膜粒子的装置；工件架用于放置和转动工件，确保薄膜沉积均匀；控制系统则通过设定参数，精准控制真空度、温度、镀膜时间等关键指标。
其基本工作流程清晰有序：首先将待镀工件清洗干净后放入腔室，关闭腔室门并启动真空系统抽真空；当腔室内达到设定真空度后，启动镀膜源，使镀膜材料以粒子形式释放；镀膜粒子在真空环境中运动并沉积到工件表面；达到预设膜厚后，关闭镀膜源，待腔室冷却后放气，取出镀好膜的工件。
