真空系统是镀膜机的核心组成部分，其性能直接决定设备能否达到工作所需真空度。日常维护对于保持系统抽气能力至关重要。
机械泵作为前级泵，需要定期检查油位和油质。泵油乳化变白或颜色加深，表明可能混入水汽或杂质，应及时更换。排气口滤芯应保持清洁，防止油雾污染环境。启动机械泵前，可手动盘转皮带轮，确认转动灵活无卡滞。
高真空泵如扩散泵或分子泵需要特别关注。扩散泵油长期高温工作会逐渐裂解，导致极限真空度下降，需按周期更换泵油。分子泵为精密高速旋转设备，避免在异常振动或异响时强行运行，遇到断电等突发情况，需等待转子完全停止后才能重新启动。
真空阀门和管路也是维护重点。挡板阀和蝶阀的密封圈长期使用后会硬化变形，导致漏气。阀板动作应平稳，无卡顿现象。各连接法兰的密封圈需保持清洁，涂抹适量真空脂，安装时确保压紧均匀。检漏是发现微小泄漏的有效手段，可用丙酮或氦气质谱仪对可疑部位进行检测。
真空计规管属于易耗件。电阻规和电离规在使用过程中会逐渐污染或老化，导致读数偏差。定期用专用溶剂清洗规管，或与标准规管比对校准，可以保持测量准确性。当规管灯丝烧断或无法校准时，应及时更换。
